小流量ガス混合装置
Low Flow Mixer
小流量ガス混合装置は、プロセス要件に応じてフレキシブルに混合濃度を変更でき、必要な関連設備（ガスキャビネットやVMB/Pなど）や関連安全センサー（毒ガス検知器/UVIRなど）を節約する事が実現します。原料ボンベの購入コスト、ボンベ交換の人件費/関連するUtility/GMS/GDS/機器のメンテナンスコストなども節約します。
小流量ガス混合装置は、プロセス要件に応じてフレキシブルに混合濃度を変更でき、必要な関連設備（ガスキャビネットやVMB/Pなど）や関連安全センサー（毒ガス検知器/UVIRなど）を節約する事が実現します。原料ボンベの購入コスト、ボンベ交換の人件費/関連するUtility/GMS/GDS/機器のメンテナンスコストなども節約します。