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ガス混合装置

Mixer

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ガス混合装置は、2つのガスを一定の割合で混合し、お客様の要求するガス濃度比を実現します。この装置はマスフローコントローラを使用してガス濃度を体積比で混合します。PLCで計算した後、補助ガス源はメインガス源の流量値に合わせ、自動的にマッチングして設定流量比を流出させ、高精度の濃度率を実現します。