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混氣設備是將兩種氣體按一定比例摻混一起達到客戶所需要的氣體濃度比。本設備採用質量流量計以體積比的方式混配氣體濃度。輔氣源會因主氣源的流動多寡,經由PLC精算後自動配合主氣源的流量值而流出所設定的流量比,以達到高精度的濃度比。